Вакуумный затвор позволяет обеспечить безопасную работу вакуумной установки. Это устройство герметично разделяет вакуумное пространство от камер, заполненных рабочим составом. Затворы этого типа могут отличаться в зависимости от типа управления и конструктивным особенностям. Например, существуют автоматические и ручные затворы.
Содержание:
- Устройство и принцип работы
- Электропневматический вакуумный затвор
- Электромагнитный затвор
- Электромеханический
- Популярные серии вакуумных затворов
Устройство и принцип работы
Вакуумные затворы отвечают за регулировку потока газа в вакуумной системе. Эти элементы оснащены затворным механизмом, который отвечает за открытие и закрытие.
Устройство и принцип работы
Сам затвор состоит из привода, корпуса и самого затворного механизма. Привод отвечает за движение механизма, который осуществляет открытие и закрытие портов. Корпус является герметичной камерой, в которой поддерживается определенный уровень вакуума. Эта камера при помощи фланцев подсоединена к общей вакуумной системе.
Вакуумные затворы и клапаны отличаются. Например, в первом случае затвор движется в перпендикулярном направлении по отношении к проходящему газу. Благодаря этому в открытом положении он способен обеспечивать максимальную пропускную способность. Клапан не открывается таким же образом. Поэтому именно вакуумные затворы чаще всего используют для турбомолекулярных вакуумных установок. Клапаны и затворы бывают нескольких типов.
Электропневматический вакуумный затвор
Затворы этого типа действуют по кинематическим схемам. Исполнительные органы оборудования начинают движение под влиянием поступательного движения. Затворы этого типа считаются высокоскоростными, так как в подобных конструкциях присутствует пневмопривод, способных регулировать потоки, проходящего через систему газа.
Электропневматический вакуумный затвор
Электромагнитный затвор
Изделия этого типа оптимально подходят при необходимости контроля потока самого вакуума. Управление клапанами осуществляется за счет работы специальных электрических сигналов. Затворы этого типа выпускаются самых разных размеров, поэтому их легко подобрать для любой вакуумной установки.
Электромагнитный затвор
Среди основных плюсов электромагнитных клапанов стоит выделить очень быстрое срабатывание. Например, на открытие требуется менее 0,2, а на закрытие не более 0,1. Также изделие не оснащено устройством управления, что также сказывается на скорости его срабатывания. Благодаря этому такой вид затворов можно использовать для аварийных клапанов.
Электромеханический
Вакуумный затвор с электромеханическим приводом считается самым лучшим. По сравнению с электропневматическими и электромагнитными моделями он отличается большей устойчивостью и надежностью. Это независимый затвор, который не оказывает никакого влияния на то, как будет располагаться вакуумная аппаратура.
Электромеханический
При выборе модели затворного клапана стоит учитывать диаметр прохода, конкретный тип энергии, которая используется в вакуумной установке и требуемый период срабатывания. Также будет полезно определиться, насколько принципиально наличие ручной или автоматической системы управления.
Популярные серии вакуумных затворов
Популярные серии вакуумных затворов
Стоит выделить несколько разновидностей изделий этого типа:
- Стандартные шиберные затворы. Используются при работе систем, в которых создается средний и высокий вакуум. Изделия этого типа способны работать в диапазоне от 1х10-6 до 1.2х10-5 Па.
- С шаговым двигателем. В этом случае тарелка затворной системы является контролируемой. Изделие состоит из привода, контроллера, а также трехфазного двигателя шагового типа. Управление может осуществляться в ручном или автоматическом режиме. Затворы этого типа применяются на вакуумных линиях, когда нужно отделить один вакуум от другого.
- Портативные. Как правило, речь идет о шиберных затворах, оборудованных пневматическим или ручным типом привода. Изделия отличаются небольшими габаритами. Например, самый большой затвор обычно не превышает 327 мм.
- Большие. Размер таких затворов может доходить до 3000 мм. Как правило, такие изделия оснащены ДУ. Корпус затвора обычно изготавливается из нержавеющей, чуть реже из углеродистой стали.
- Затворы, оснащенные системой водяного охлаждения. Это модели специального назначения, которые намного реже встречаются в продаже. Затворы этого необходимы при повышенных температурах в вакуумной системе. Управление осуществляется в ручном или пневматическом режиме.
- Прямоугольные. Также относятся к категории специальных затворов. Преимущественно их используют в полупроводниковой промышленности. Работа системы основана на качающихся рычагах, что распределяет поддержку. Благодаря этому ударная нагрузка сводится к минимуму. Такие модели обычно выпускают по индивидуальным габаритам.
Вакуумные затворы от отечественных производителей по качеству не уступают итальянским и немецким аналогам, однако их стоимость ниже. Также намного удобнее выполнять сервисное обслуживание и приобретать сменные элементы.